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先進的なデュララコーティングシステム

最先端のデュララコーティングシステムを生産ラインに導入することで、劇的な製品サイクルの合理化と、ジャストインタイムのコーティング効率を得ることができます。そして最終的にはお客様の最終製品とコーティングプロセスとを完全に制御することができます。

デュララは、現在2つのブランドでシステムを提供しています。さらに我々は、内部コーティング用に、InnerArmorブランドシステムズ特定の構成を提供しています。

Duralar Centurion – アウターコーティングシステム

DuralarCenturion装置は、PVDやPECVDプロセスの両方で高度なコーティングが可能な多目的なハイブリッドデザインです。このシステムは、生産性、コスト効率の高い工業用製品のコーティング用に構成されており、小型/中型製品の大量生産、または少量多品種の製品を提供するように設計されています。

コーティングされる部品は、均一性の最適化のために、独立したバイアス制御を有し、遊星運動で回転します。チャンバーにはヒーター、ターボポンプ、ドライポンプ、およびリキッドダイアモンドのためのマスフローコントロール(液体質量流量制御)が装備されています。すべてのハードウェアは、PLC(programmable logic controller)とHMI (human machine interface)を介して制御されます。プロセスはレシピを介して自動化され、簡単にお客様のツールにDuralar R&Dセンターから転送されています。

 

maximus-on-turqDuralar Maximus – 内部コーティングシステム

Maximus™システムは、部品の内部表面をコーティングするために設計されています。これは、セットアップされた高アスペクト比部品の10個の同一コンポーネントが収容されています。このチャンバーベースPECVDシステムは、10個の基板全体の均一性の為に、パルスDC、10個のガスフィード及び電気スプリッタを利用します。レシピコントロールおよびリモートデータロギングを持つ高度なPLCおよびHMIによって制御され、ドライポンプとブースター、ヒーター、マスフローコントローラー及びバルブが装備されています。

DuralarのInnerArmor CS-10 – 内部コーティングシステム

CS-10-sml

私たちのInnerArmor CS-10コーティングシステムは、もともと特殊な内部コーティングを行うために、我々の子会社Sub-Oneが開発したInnerArmor技術が組み込まれています。CS-10は、特許取得済みの中空陰極イオン浸漬処理を利用し、その柔軟な設計はアプリケーションの範囲に合わせて調整することができ、表面の機能強化を適用することを可能にします。InnerArmorコーティングは目視範囲に限定されることなく、複雑な内部幾何学的形状のコーティングを可能にするプラズマCVDを介して内部表面に塗布されます。

InnerArmor CS-10は、コーティングされる部品へ容易に接続できる為のKF100フランジ付き真空ヘッドが装備されています。各パーツと接続することで、基材自体がチャンバーとして機能します。ヘッドはアノードのハウジングだけではなく、ガス供給と排出を提供するようにデザインされています。CS-10は、レシピコントロールおよびリモートデータロギングを持つPLCおよびHMIによって制御され、ヒーター、圧力ゲージ、ブースター付きドライポンプだけではなく、高電圧DC電源、非対称のバイポーラDCパルスシステム、8個のマスフロコントローラー及び関連バルブが装備されています。

Duralar’s InnerArmor CS-10 – チューブ状チャンバー– 外部コーティングシステム

このInnerArmorシステムは折り畳みのデザインと上からのアクセスを有するチューブ状のチャンバーを備えている事を除いて標準のCS-10と同様のモデルです。この構成は、部品の外部コーティング用InnerArmor技術の使用を可能にします。

 

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